微流量傳感器 - F1012

產(chǎn)品介紹

一、微流量傳感器F1012產(chǎn)品描述

F1012微流量傳感器是利用熱力學(xué)原理對(duì)流道中的氣體介質(zhì)進(jìn)行流量監(jiān)測(cè)，具有很好的精度與重復(fù)性。F1012微流量傳感器內(nèi)置有溫度傳感器，每只都進(jìn)行專有的溫度補(bǔ)償校準(zhǔn)；同時(shí)具有線性模擬 電壓輸出，方便使用微流量傳感器F1012芯片由兩個(gè)熱偶堆和一個(gè)加熱電阻組成：熱偶堆對(duì)稱 地分布在加熱電阻的上、下游；加熱電阻和熱偶堆的熱結(jié) 處于一個(gè)隔熱底座上。加熱電阻對(duì)熱偶堆的熱結(jié)加熱。熱 偶堆熱結(jié)和冷結(jié)之間的溫度梯度導(dǎo)致輸出電壓，即本征塞 貝克效應(yīng)。當(dāng)流體 靜止時(shí)，等溫線沿垂直加熱電阻中部的直線對(duì)稱分布，加 熱電阻兩側(cè)對(duì)稱位置的溫度是相同的。當(dāng)流體從右向左流 動(dòng)時(shí)，等溫線向左側(cè)傾斜。加熱電阻兩側(cè)對(duì)稱位置的溫度 不再相同。溫差可由置于加熱電阻兩側(cè)的熱偶堆測(cè)定。由 于流體的傳熱只與流體質(zhì)量和流體的熱容有關(guān)，因此傳感器可直接測(cè)出流體質(zhì)量流量。

二、微流量傳感器F1012特點(diǎn)
新一代MEMS傳感器芯片技術(shù)
無(wú)漂移，無(wú)滯后
精度高，響應(yīng)速度快，重復(fù)性好
低功耗（使用脈沖激發(fā)電流）
可準(zhǔn)確測(cè)量極小流量
經(jīng)過(guò)完全校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償
線性或開(kāi)方特性輸出；模擬或數(shù)字輸出

三、微流量傳感器F1012主要應(yīng)用
醫(yī)用設(shè)備：呼吸儀、肺活量?jī)x、麻醉控制儀、氧氣控制等
暖通空調(diào)：變風(fēng)量系統(tǒng) (VAV)、過(guò)濾器監(jiān)控、風(fēng)扇通風(fēng)控制等
工業(yè)過(guò)程控制：燃燒器控制
空氣和環(huán)境保護(hù)
便攜式儀器

四、微流量傳感器F1012技術(shù)指標(biāo)