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皮拉尼真空傳感器 - F6000

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超低功耗<5毫瓦
快速響應(yīng)時(shí)間<5毫秒
耐沖擊至1000g
可測量氣體體積最低至0.1 cm3
低噪聲
高分辨率
同一芯片上進(jìn)行溫度傳感
長期穩(wěn)定
可用溶劑浸泡清洗，延長使用壽命

產(chǎn)品型號(hào)：: F6000

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產(chǎn)品介紹

皮拉尼真空傳感器F6000產(chǎn)品描述

F6000系列MEMS皮拉尼真空傳感器提供了一個(gè)突破性的真空測量方案。該傳感器外形微小，同時(shí)又具有超低功耗，長壽命，低現(xiàn)場維護(hù)，和低成本的優(yōu)點(diǎn)。

依據(jù)“氣體熱導(dǎo)系數(shù)與低真空范圍壓力成正比”的原理，F(xiàn)6000系列真空傳感器測量加熱元件上由于傳熱到周圍的氣體而導(dǎo)致的細(xì)微的電阻變化。
該加熱元件（即測量電阻）是由一個(gè)置于一張隔熱膜上的鉑薄膜電阻構(gòu)成。隔熱膜懸覆在一個(gè)微加工的25祄深空腔上，空腔底部表面與隔熱膜平行，以確保精密測量傳熱率。由于被測氣體體積極?。纯涨蝗莘e?。瑹樖鞲衅髂軌蛱峁┏偷墓暮涂焖俚捻憫?yīng)時(shí)間。
F6000系列真空傳感器還提供了一個(gè)與測量電阻具有相同電阻溫度系數(shù)（TCR）的基準(zhǔn) 電阻，布置在傳感器芯片基板上。傳感器電路可用它來進(jìn)行環(huán)境溫度補(bǔ)償。

由于具有可靠性高，成本低，使用簡便和超低功耗的逐項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)，采用MEMS工藝加工的，微型化的皮拉尼技術(shù)正在成為一個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。F6000 系列MEMS皮拉尼真空傳感器可以幫助客戶充分利用這一趨勢，以改善其現(xiàn)有的產(chǎn)品和開發(fā)新的產(chǎn)品。